1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。 不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。 无尘室管控之项目 1，能除去空气中之微尘粒子 2，能防止微尘粒子产生 3，温度和湿度之控制 4，压力之调节 5，结构物与隔间之气密性 6，静电之防制 7，安全因素之考虑8，节能之考量 9，电磁干扰预防

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